集成电路制造设备导论（郑柘炀, 李志鹏, 计旭东）
2026秋 课程号：IC400301
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| 选课类别：计划内与自由选修 | 教学类型：理论课 |
| 课程类别：本科计划内课程 | 开课单位：集成电路学院（国家示范性微电子学院） |
| 课程层次：专业选修 | 学分：2.0 |
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